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二氧化碳發(fā)泡機(jī)

CO2 bubbler 二氧化碳發(fā)泡機(jī)、加碳機(jī)、超純水防靜電設(shè)備ELK-5000L

CO2 bubbler 二氧化碳發(fā)泡機(jī)、加碳機(jī)、超純水防靜電設(shè)備ELK-5000L
案例詳情

“恩樂(lè)科”品牌二氧化碳發(fā)泡機(jī)產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品功能:

超純水防靜電裝置,又稱(chēng)co2 bubbler(二氧化碳發(fā)泡機(jī)、二氧化碳鼓泡機(jī)),去離子水電阻率調(diào)節(jié)裝置,加碳機(jī)等等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳, 在水中產(chǎn)生適量的離子增強(qiáng)純水的導(dǎo)電性,降低純水的電阻率,防止在劃片制程、清洗等半導(dǎo)體、TFT加工過(guò)程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品,消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈, 最后烘干后二氧化碳揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì),不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設(shè)備,可有效控制微電子工業(yè)生產(chǎn)制程中的靜電危害,防止靜電吸附導(dǎo)致產(chǎn)品因靜電放電受到損傷, 防止靜電破壞和微粒子的表面附著,大大提高產(chǎn)品良品率,降低生產(chǎn)成本。


型號(hào):   

ELK-500L、ELK-1000L  、ELK-2000L 、ELK-3000L 、ELK-4000L 、ELK-5000L 、ELK-6000L 、ELK-7000L、 ELK-8000L

ELK-10000L、ELK-15000L 、ELK-20000L、ELK-25000L、ELK-30000L

流量范圍:1-100M3/H

適用行業(yè):

1、 微電路芯片切割和清洗2、光掩膜切割和清洗 3、晶圓切割和芯片清洗 4、半導(dǎo)體硅片切割和清洗5、太陽(yáng)能電池片切割和清洗 6、TFT面板切割和清洗 7、特殊工業(yè)的控制超純水電阻 

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