CO2bubbler又名二氧化碳發(fā)泡機是一種超純水防靜電裝置，能夠提高超純水的導電性，降低電阻率，避免在切割過程中靜電積聚，消除硅屑、陶瓷屑的靜電吸附。有效控制生產制程中的靜電危害，避免靜電吸附導致產品因靜電放電而受損，降低靜電破壞和微粒子的附著，提高產品良品率，降低生產成本。設備名稱：CO2發(fā)泡機、CO2bubbler、超純水防靜電裝置。

是由深圳市恩樂科環(huán)?？萍加邢薰旧a的高品質產品。本系列產品主要用于使用氣體滲透膜模塊向超純水中添加 CO2 以控制超純水的電阻率值，防止因使用超純水時產生靜電而導致的靜電吸附污染及靜電破壞等事故。

.型號：ELK-500L、ELK-1000L、 ELK-2000L、 ELK-3000L、ELK-3500L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-7000L、ELK-10000L 

產品優(yōu)勢

• 形體緊湊，結構簡單，故障率低
• 采用引入雜質最少的最先進核心專利技術，保證產水的高品質
• 使用方便，操作簡單，調節(jié)精度高，穩(wěn)定性好
• 耗電少，用氣省，成本低，節(jié)能環(huán)保
• 產品設計壽命長，維修方便

產品效果

• 防止由靜電引起的粉塵靜電吸附
• 防止半導體元件受到靜電破壞

實際用途

• 硅晶圓和芯片切割劃片。
• 硅片清洗。
• 太陽能電池片清洗。
• 液晶面板清洗。
• 光掩膜清洗。