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二氧化碳發(fā)泡機(jī)
嵌入式二氧化碳發(fā)泡機(jī)CO2 bubbler超純水防靜電裝置ELK-1AP、ELK-2AP、ELK-3AP
案例詳情
“恩樂科”品牌小流量二氧化碳發(fā)泡機(jī)（嵌入式）
產(chǎn)品功能：
二氧化碳發(fā)泡機(jī)，又稱co2 bubbler(超純水防靜電裝置、二氧化碳鼓泡機(jī))，去離子水電阻率調(diào)節(jié)裝置，加碳機(jī)等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳， 在水中產(chǎn)生適量的離子增強(qiáng)純水的導(dǎo)電性，降低純水的電阻率，防止在晶圓劃片制程、芯片清洗等半導(dǎo)體、TFT加工過程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品，消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈， 最后烘干后二氧化碳揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì)，不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設(shè)備，可有效控制微電子工業(yè)生產(chǎn)制程中的靜電危害，防止靜電吸附導(dǎo)致產(chǎn)品因靜電放電受到損傷， 防止靜電破壞和微粒子的表面附著，大大提高產(chǎn)品良品率，降低生產(chǎn)成本。
設(shè)備原理：本公司經(jīng)過多年的研發(fā)和試驗(yàn)，生產(chǎn)ELK 系列超純水防靜電裝置，本裝置全部采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)材料和儀表，設(shè)計(jì)原理是通過膜接觸器來實(shí)現(xiàn)超純水的潔凈CO2 無污染注入。膜接觸器的特點(diǎn)是氣體可以透析式穿過膜表面均勻溶解到水里，而水和微粒雜質(zhì)卻很難透過膜。用這種特制膜將CO2 氣體和超純水隔開， 通過設(shè)備中的精密調(diào)節(jié)裝置可以控制CO2 在水中的溶解量， 從而實(shí)現(xiàn)精確控制水的電阻率。產(chǎn)品水的電阻率可以很方便且精確地調(diào)整到0.1-2MΩ?cm范圍內(nèi)。此產(chǎn)品可以消除產(chǎn)品表面產(chǎn)生的靜電對產(chǎn)品造成靜電吸附污染、靜電放電損傷等危害，大大提高了產(chǎn)品的良品率。該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于微電子和半導(dǎo)體行業(yè)。
流量：10L/H -3000L/H 用于劃片機(jī)、清洗機(jī)配套。 ELK-1AP 、 ELK-2AP 、ELK-3AP
