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深圳市恩樂(lè)科環(huán)保科技有限公司
二氧化碳發(fā)泡機(jī)
二氧化碳發(fā)泡機(jī)配件 CO2 調(diào)節(jié)器CO2 REGULATAE CELL
案例詳情
超純水防靜電裝置二氧化碳發(fā)泡機(jī)CO2 Bubbler CELL 二氧化碳發(fā)泡機(jī)配件 CO2 調(diào)節(jié)器CO2 REGULATAE
恩樂(lè)科超純水二氧化碳發(fā)泡機(jī)CO2加碳機(jī)防靜電裝置二氧化碳注入機(jī)co2 bubbler二氧化碳鼓泡機(jī)，替代NGK，PRCⅡ-1000ACD PRCⅡ-2000ACD PRCⅡ-1200ACD PRCⅡ-1220ACD DIC 型號(hào): E-FLOW
DISCO劃片機(jī)配套設(shè)備
1、芯片封測(cè)廠晶圓劃片割裂防靜電損害
2、微電路芯片切割和清洗
3、光掩膜切割和清洗
4、半導(dǎo)體硅片切割和清洗
5、TFT面板切割和清洗
6、陶瓷切割和清洗
7、玻璃切割和清洗
超純水用帶電防止器The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II
超純水用帶電防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）
半導(dǎo)體產(chǎn)品制造中，利用超純水清洗時(shí)必不可少的設(shè)備。
概要
通常的精密清洗過(guò)程中，往往使用不含離子的超純水進(jìn)行清洗，這樣超純水很容易產(chǎn)生靜電，是以下的各種產(chǎn)品不良的主要原因。
?由靜電產(chǎn)生電路破壞（靜電擊穿）
?被清洗物表面付著電荷，由靜電吸引產(chǎn)生的微粒子粘著
超純水用靜電防止器（MEGAON II） 利用向超純水中深解二氧化碳?xì)怏w的方式，將電荷導(dǎo)出，達(dá)到除靜電，搞高產(chǎn)品的良品率的目的。
MEGACON
特點(diǎn)
1，通過(guò)膜將二氧化碳溶解到超純水中，微粒子的混入危險(xiǎn)性小，信設(shè)備信賴性高；
2，采用自動(dòng)控制系統(tǒng)，流量變動(dòng)，目標(biāo)水阻值可以達(dá)到精確控制；
3，設(shè)備進(jìn)出超純水的壓力損失少；
4，歐洲電器標(biāo)準(zhǔn)CE
原理
通過(guò)膜裝二氧化碳?xì)怏w溶解到超純水中。
用途
?半導(dǎo)體劃片制程里的清洗
?高壓噴射清洗
?液晶面板清洗
?曝光用MASK清洗
規(guī)格：ELK -500L 、ELK-1000L 、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-6000L、ELK-7000L、ELK-8000L、ELK-10000L
ELKPURE CO2 bubbler，Ultrapure water anti-static device
model： ELK-500L、ELK-1000L 、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-6000L、ELK-7000L、ELK-8000L、ELK-10000L
manufacturer: ELKPURE flow：1000-10000L/H
