CO2 bubbler 二氧化碳發(fā)泡機、加碳機、超純水防靜電設(shè)備ELK-5000L
超純水防靜電裝置,又稱co2 bubbler(二氧化碳發(fā)泡機、二氧化碳鼓泡機),去離子水電阻率調(diào)節(jié)裝置,加碳機等等。其原理是向高電阻率的純水中添加高純二氧化碳, 在水中產(chǎn)生適量的離子增強純水的導(dǎo)電性,降低純水的電阻率,防止在劃片制程、清洗等半導(dǎo)體、TFT加工過程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品,消除硅屑的靜電吸附便于清洗干凈, 最后烘干后二氧化碳揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì),不造成二次污染。超純水防靜電裝置和設(shè)備,可有效控制微電子工業(yè)生產(chǎn)制程中的靜電危害,防止靜電吸附導(dǎo)致產(chǎn)品因靜電放電受到損傷, 防止靜電破壞和微粒子的表面附著,大大提高產(chǎn)品良品率,降低生產(chǎn)成本。